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中国高端光刻机技术现在如何?

电脑/软件  2022-08-26210

光刻机技术,荷兰ASML公司是目前全球最先进的企业 ,其提供的光刻机技术已经达到7nm水平,目前国内有关光刻机技术还处于90nm工艺水平,要达到28nm工艺水平,也需要借助国外光刻机实现。目前中芯国际,华虹集团已经实现28nm光刻机量产,14nm工艺研发也已完成,他们在国内的年销售额位居第一和第二。

那么中国光刻机技术和国外的差距水平到底有多大?根据中科院院士刘明的说法,目前国内光刻技术与国外差距大约15~20年,刘明院士坦言,目前光刻技术是整个集成电路中我们与国外差距最大的。 目前荷兰一台机七nm光刻机,价值1亿多美元,而且是全球唯一供货商,目前被终止交货的这台光刻机,按照计划将于年底交付,价值1.2亿美元,近9亿人民币,是目前世界上最先进的,不仅中国,韩国,日本和美国等先进国家也要从荷兰进口,这部光刻机关键零件,来自美国,德国,瑞典,法国,这些全球顶级零配件,全都禁止出口中国,所以ASML公司自信地说,“即便给你全套的图纸,你也造不出来”。

即使中芯国际拥有一台7nmmASML光刻机,也有很多使用限制,不能自主CPU代工,也不能给龙芯,申威,等自主CPU代工或者商业化量产,在很大程度上,影响了自主技术的发展,如果失去先进光刻机技术,中芯国际就无法进军国际高端市场。中国在许多科技领域,都曾经被外国人卡脖子,但是中国人民有志气有能力,经过广大科技工作者的不懈努力,一步步攻关,终究克服了困难,赶超世界先进水平,甚至实现弯道超车,如中国的高铁技术,5G技术,就是在压力下取得的成果,有压力才有动力 ,中国科学家有能力,克服困难,研制出自己的光刻机。

中科院光电技术研究所研究员胡松,在接受记者采访时说,“如果国外禁运,我们也不用怕,因为我们这个技术再走下去,我们认为可以有保证。在芯片未来发展,下一代光机电集成芯片,或者我们说的广义芯片,有可能弯道超车,走在前面”。值得一提的是,中国科技人员研制成功了九nm光刻实验样机,是一种功能非常强大的光刻机,是一种没有参考任何西方技术新思路,新方法,其光刻技术与目前的主流光刻技术不同,波长更长,成本更低,在这方面,如果发展顺利,很有可能实现弯道超车,不但技术领先,而且可以大幅降低光刻机成本。

面对中国的崛起,西方大国,怕得要死,恨得要命,千方百计阻碍中国发展的脚步,用禁运和封锁卡中国的脖子,但是他们的阴谋不会得逞,正如伟人所说的一句话:“封锁吧!封锁它十年,八年,中国的一切问题都解决了”!

蓝色的忧伤

国望光学、上海光机所(上海微电子),长春光机所参与研发的国产光刻机已于2017年首次曝光成功,且曝光光学系统在整机环境下已通过验收测试,目前90纳米国产高端光刻机已顺利验收交付。上海微电子自主生产的SSA600/20光刻机,可以用来加工90nm制程工艺的芯片,如果用来生产军用和航天芯片,那一点问题也没有,但是如果用来制造消费类电子芯片,那只能死路一条,我国能够实现的大规模商业化精度仅仅只达到了90nm,与国外顶级商业化生产差距至少达到了10年

而中国目前最新的65nm光刻机还在设备验证阶段,但这也为中国自主研发28nm双工件干台式及浸没式光刻机奠定了基础。

还有最近中国自主研发的14nm先进制程工艺光刻机已经初步通过专家组的验收和审核,但是如果需要实现量产仍然需要一段时间。

但是,对于中国来说,这是一个极大的进步。而这也让三星非常羡慕,因为韩国尚无法研发光刻机。让华为、中兴等如虎添翼。

未来中国的光刻机将不再受制于人。

还有华中科技大学的甘棕松教授已经用跟ASML公司完全不同的技术路线,首次在世界范围内实现了单线9纳米线宽的超分辨光刻,而且成本只是动辄1亿美元的主流光刻机的几分之一,国产9纳米光刻机即将出现。

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